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干涉测量法说明
通过使用两束光（通常将一束光分为两束光），可在其叠---形成干涉图。由于可见光的波长非常短，两束光的光路（传播距离）稍有不同，就能被检测出来（因为这些差异会在干涉图上产生明显的变化）。因此，光学干涉测量法上百年来一直是一项非常有价值的测量技术。随着激光的发明，干涉测量法的精度得以改进。
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氮化硅
氮化硅具有许多与红宝石类似的特性。
这是一种非常坚硬耐磨的陶瓷材料，可加工成球体。也可抛光为光滑的表面光洁度。
氮化硅与铝之间没有吸附性，因此不存在红宝石测球在类似场合所发生的粘附磨损现象。但氮化硅在钢材表面扫描时却具有很---的磨擦磨损特性，因此其应用---在铝质工件上。
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双频激光干涉仪
双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。
在激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应，激光器产生f1和f2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光，再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。
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