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干涉测量法说明
通过使用两束光(通常将一束光分为两束光),可在其叠---形成干涉图。由于可见光的波长非常短,两束光的光路(传播距离)稍有不同,就能被检测出来(因为这些差异会在干涉图上产生明显的变化)。因此,光学干涉测量法上百年来一直是一项非常有价值的测量技术。随着激光的发明,干涉测量法的精度得以改进。
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讲解球杆仪测试
系统以单个点为中心执行所有三项测试,允许使用空间诊断报告(ballbar 20新增功能),为您提供更多信息,比使用旧系统速度更快。数据分析用户可以选择多种符合---(如iso、asme)的报告格式和诊断报告(包括空间分析)格式,报告提供若干不同的屏幕视图和帮助手册链接。很多报告可以自定义,并可通过内置的“剪切和粘贴”功能利用终结果编写报告。
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当需要进行多个测针角度、位置及不同测针长度的测针校验时,校验后一定要检查其校验效果,方法是:全部定义的测针校验后,使用测标准球功能,用校验后的全部测针依此测量标准球,观察其球心坐标的测量变化,如有1 到3 个微米变化,则是正常的,如果变化比较大,则要重新检查测座、测头、加长杆、测针、标准球的安装是否牢固,测针和标准球上的手印和灰尘,这也是造成这种现象的重要原因。
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